4月15日，2020年度山东“十大科技成果”“十大科技新闻”揭晓。山东有研半导体材料有限公司“满足14纳米集成电路装备用的18英寸硅单晶及部件全国首次成功投产”上榜。
大规格高纯硅单晶是先进半导体设备的核心部件材料，是纳米级半导体制程良率的重要保障。经过4年的研发，国家重点研发计划“大尺寸高纯稀有金属制品制备技术”结出丰硕成果，山东有研半导体材料有限公司成功攻克大规格高纯硅单晶技术，并在德州经济技术开发区实现成果转化，填补了省内空白。
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该成果立足于自主创新，形成了独特的加热装置、单晶信号检测方案、收尾控制方法、位错缺陷判断装置、温度闭环控制等手段，有效解决了大规格单晶生长过程热应力、固液界面稳定性、氧含量、纯度、典型缺陷及电阻率控制等问题，达到全球领先水平，形成20余系列产品，全覆盖客户端需求，长成单晶直径达到18英寸（即450mm），为全球最大硅单晶尺寸。产品为美国、日本、韩国所有硅部件厂商采用，安装于泛林、东京电子等顶尖半导体设备厂商的刻蚀机产品中，并在台积电等产线中使用。随着半导体产业的高速发展以及半导体制程日趋微细化，大规格高纯硅单晶及精密硅部件的需求将快速增长，该成果市场前景广阔，2020年全年形成销售额2.32亿元，2021年预计销售额约4亿元。
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记者|张志宁 通讯员|禹红 赵洪志
编辑|高红岩